工研院研發全球首座工業再生水 日供2萬噸回用半導體製程

水情拉警報，尤其中南部水庫的蓄水量不斷下滑，在農業、民生用水之外，半導體產業也得確保供水無虞。工研院團隊，首創工業廢水，回用到半導體製程的再生水利用。

工研院材料化工所研究員邱聖壹表示，「半導體製程用水相對來說，它水質的要求更嚴苛，流體化床結晶處理完之後的鈣鎂，它其實還有一些微量污染物，它變成說 生物網膜其實微生物可以大量生長在一個單體上面的時候，氨氮或者是像尿素的處理的話，其實都可以達到70%到80%以上，以達到為後續的半導體製程用水的一個規格。」

半導體製程的用水要求較高，過去常見的再生水，大多是民生廢水，但經由流體化床結晶、生物網膜等技術，能讓工業廢水達到半導體製程要求，目前每天能提供2萬噸再生水。但除了缺水問題，夏季用電高峰將近，外界也擔心是否會缺電，因此有團隊研發，利用廚餘和禽畜糞便來發電。

工研院綠能與環境研究所經理楊子岳說明，「開發我們的一個反應器，那我們也有開發出一些適合國內的菌劑，那可以使得它的整個沼氣的一個產生速率，會比傳統的技術會快大概30%左右，每1公噸的有機廢棄物，大概可以產生100到200度電。」

「乾式厭氧醱酵技術」相較於傳統作法，可以減少用水，後端處理的負擔也比較低。產生的沼液、沼渣還能投入有機肥或土地改良使用。

工研院長劉文雄說道，「基本上，我們要提高能源效率是從使用端來減碳。」

面對全球的淨零碳排趨勢，產官學研，陸續投入相關研發，要在淨零轉型過程，打下更好的基礎。