德國政府原本計畫補貼50億歐元給台積電到德國設廠，不過，現在傳出因為法院判決違憲，可能會影響台積電設廠計畫，最差情況可能會取消設廠。經濟部長王美花表示，都有密切和台積電聯繫；德國政府表示會積極處理預算問題，台灣政府也會給予協助。對於補貼生變傳言，台積電未對外回應。
德國聯邦憲法法庭上個月裁決，聯邦政府把2021年規模600億歐元的防疫基金，轉為氣候與轉型基金的做法違憲，恐怕影響德國補貼台積電的設廠計劃。
經濟部長王美花表示，都有密切和台積電聯繫。
王美花指出，「我們都有跟台積電密切聯繫，那大家也看到德國政府也公開說明他們會來解決預算的問題，我們一定都會協助台積電。現在比較主要的問題是，要先確認德國相關的預算能不能克服。」
原先，德國政府要補貼50億歐元投入台積電德廠補助，根據知情人士透露，如果德國政府改變或減少原本的補貼，台積電可能會重新協商，在德勒斯登投資晶圓廠的條件，包含和德國合資企業夥伴的協議，最差的狀況可能會取消設廠。
台積電尚未做出回應，不過專家認為，台積電德國廠預計2024年下半年才要動土，2027年才要開始生產，加上歐盟德國市場只占台積電營收的5%，萬一真的取消設廠，影響應該不大。
光電科技工業協進會研究顧問柴煥欣分析，「德國未來要求台積電在德勒斯登建二廠、三廠，而且技術的製程能夠持續延伸到5奈米、3奈米製程，所以他們一定會讓這件補助獲得解決，只不過是時間的問題。」
專家認為，台積電雖然不至於取消設廠，但設廠時程可能會受到補貼生變而延後。另外，原先獲得德國政府補助的英特爾則對德國政府有信心，仍會按照原定計畫設廠。